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當前位置：上海納騰儀器有限公司>>產(chǎn)品展示>>電子束曝光系統(tǒng)
ELS-F125是Elionix推出的世界上1st臺加速電壓達125KV的電子束曝光系統(tǒng)，其可加工線寬下限為5nm的精細圖形。(以下參數(shù)基于ELS-F125)
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